Správné zahřívání ve vašem Fabu – bez potíží Pokud budujete inteligentní Fab, pravděpodobně jste si už všimli, že staré způsoby ohřevu už nefungují....

Přestaňte čekat na troubu: Proč skutečně funguje zasychání pomocí infračerveného záření Pokud stále spoléháte na cirkulaci horkého vzduchu, vlastně...

Proč se zaměřujeme na izolaci v polovodičových ohřívačích Při použití polovodičových ohřívačů nestačí „dostatečná“ izolace. Potřebujete naprostou...

Udržování čistoty v místnosti určené k zpracování polovodičů Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, víte již, že filtry vzduchu jsou jen...

Přestaňte plýtvat energií při výrobě polovodičových desek Buďme upřímní: plýtvání energií při výrobě polovodičových desek znamená prostě plýtvání...

Přestaňte nechat své ohřívače zabíjet vaši produktivitu Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte ten noční můru. Jediný drobný...

Přestaňte zahřívat vzduch: Chytřejší způsob zacházení s teplem u polovodičů Buďme upřímní ohledně tradičních konvekčních troub. V podstatě se jedná o...

Proč používáme Vodotěsné IR lampy v linkách na výrobu polovodičů Pojďme mluvit o procesu oplachování a sušení v výrobě polovodičů. Pokud jste někdy...

Odložení starých způsobů: Sušení MEMS desek pomocí infračerveného záření Při výrobě MEMS senzorů je důležité odstranit vlhkost z těchto desek. Je...

Nenechte svou čistou místnost převést se v ohrožení požárem Zde je realita používání infračervených lamp v čisté místnosti: obvykle pracujete s...

Proč opouštíme horký vzduch ve prospěch bezozónových infračervených lamp Buďme upřímní: spoléhat se při zpracování polovodičů na horký vzduch je...

Proč přecházíme na zasychání pomocí infračerveného záření u destiček Pojďme si povědět o starém způsobu práce. Po léta jsme k sušení destiček...

Jak zastavit noční můru prasknutí trubic při výrobě polovodičových desek Buďme upřímní: v zařízeních s vysokou zátěží je prasknutí infračervené lampy...

Jak zajistit, aby vaše ohřívače pro senzory vodíku nevybuchly Při výrobě senzorů vodíku je klíčové dosáhnout správného teplotního profilu....

Přestaňte plýtvat teplem: Proč lampy s zlatou povrchovou úpravou skutečně fungují Při ohřevu polovodičových destiček je každý watt důležitý. Problém...

Jak zabránit selhání lamp určených k vysychání waferů Při práci s wafery musíte dosáhnout ideální teploty. K tomu používáme lampy s vysokou...

Zastavení noční můry z poruch trubic při zpracování polovodičových desek Pokud jste někdy zažili prasknutí IR lampy během intenzivního provozu, víte,...

Udržování čistoty waferů: Pravda o prasknutích lamp Pokud provádíte výrobu waferů ve vysokém měřítku, určitě znáte ten noční můru – lampa praskne....

Správné řízení teploty u biosenzorů Při výrobě biosenzorů je teplota naprosto zásadní. I malá odchylka může způsobit, že proteiny nebudou schopny se...

Proč se tak trápíme testováním našich vakuových IR topení Vakuové prostředí má jednu zvláštnost – mění pravidla fungování elektrozařízení. Když...

Správné použití křemenných skleněných štítů u infračervených lamp v továrnách na výrobu polovodičů Pokud uvažujete o sušení pomocí polovodičů, pak je...

Proč jsou zlatě pokryté reflektory opravdu důležité pro vaše destičky Při sušení křemíkových destiček nejde jen o zvýšení teploty. Jde také o to, kam...

Zastavte střepiny: Udržete-li svou výrobní linku čistou v případě selhání infračervených lamp Buďme upřímní – v továrně na polovodiče není prasknutí...

Proč používáme keramické konce pro bezolovnaté UV zahušťování Svět polovodičů usiluje o dosažení „zelených“ a bezolovnatých standardů. Je to správný...

Jak zabránit výbuchu vašich topných zařízení na bázi uhlíkových nanotrubic Výroba uhlíkových nanotrubic rozhodně není jednoduchá záležitost. Musíte...

Přestaňte měnit vozíky v čistých prostorách na topné zařízení Při přesouvání polovodičových desek je důležité udržet je při správné teplotě – jedná...

Zastavte střepiny: Udržujte vaše destičky čisté, když selžou infračervené lampy V provozech s vysokou kapacitou může jeden selhání zničit celý den...

Lampa na sušení polovodičových destiček, kterou jsme vytvořili, abychom konkurovali nejlepším značkám Vytvořili jsme tuto lampu určenou k hromadnému...

Úvod Pravda je taková: vyrábíme součásti na ohřev resistů pro technologii EUV z jednoho prostého důvodu – abychom zajistili nepřerušený provoz vašich...

Úvod Přejděme rovnou k věci. Vyrobili jsme tyto infračervené topné lampy proto, že inženýři v továrnách si zaslouží opravdovou možnost – takovou,...

V praxi nemůže lithografická jednotka zvládnout vlivy, které způsobují odchylky v procesu. Nárůst teploty o 2 °C během měkkého zahřívání způsobuje...

V výrobních prostorách neodpouští 24/7 provoz žádné odchylky v teplotě. Měkké vypalování při teplotě 95 °C, tvrdé vypalování při teplotě 110 °C –...

V prostředí lithografie stačí jen půlobvodová odchylka během zahřívání fotorezistu k tomu, aby se kontrolované rozměry proměnily v náhodné hodnoty....

V provozu na výrobě není proces sušení fotorezisty jen dalším krokem v procesu výroby. Jedná se o „termický kotvicí bod“, který zabraňuje odchylkám v...

V linii balení může jedna teplotní výkyvová situace zničit veškerý váš zisk. Bezolovnatý lepidlo vyžaduje přesně definovaný teplotní profil, ale...

V prostoru výroby nejsou tepelné výkyvy jen parametrem, který je potřeba sledovat – jedná se o přímou příčinu ztrát v kvalitě výrobku. Výkyv o 0,5 °C...

V provozu výroby není odchylka teploty během měkkého nebo tvrdého zahřívání jen problémem na úrovni jednotlivých výrobních kroků – projevuje se to...

V provozu výroby jsou tepelné výkyvy během zpracování fotorezistů něčím, co cítíte ještě předtím, než to uvidíte. Oblačnost povrchu čipu se zvyšuje,...

V prostředí výroby, víte jak to chodí: i nárůst teploty o 0,5 °C během zahřívání fotorezistentu může způsobit změny kritických rozměrů v řádu...

Na výrobní ploše, několik stupňů odchylky teploty během pečení photoresistu není „menší odchylka“. Přímo to zasahuje do uniformity kritických rozměrů...

Na lince o šířce 300 mm stačí jedna vodní skvrna po čištění k tomu, aby zničila celou šarži. Vyvinuli jsme sušící lampu na deionizovanou vodu, která...

Na výrobní lince je posun o 0,1 °C během sušení plátků nebo vypalování fotorezistu dostatečný k vychýlení kritické dimenze ze specifikace. Následuje...

Out on the fab floor, a heater drift doesn’t throw a big red alarm. It shows up as a soft-bake temperature that starts to wander, critical dimension...

Na lince 300mm není soft bake volitelný — je to váš tepelný rozpočet, jasně a jednoduše. Kolísání o 2°C přes wafer může posunout CD o nanometry a...

Na provozu tracker udržuje svůj stálý rytmus. Cítíte vzduch z čisté místnosti na kůži a zároveň i tlak. Jedna pec se vychyluje. Teplotní rozložení po...